经过臭氧处理后进行活性炭处处理主要有三个好处:1、破坏水中残余臭氧，一般发生在最初炭层的几厘米处;2、通过吸附去除化合物或臭氧副产物;3、通过活性炭表面细菌的生物活动降解物质。实验研究表明，在活性炭处理过程中，同时发生快速吸附、慢速吸附和生物作用。臭氧-生物活性炭工艺运行之初，活性炭具有最大的吸附容量，起主导作用的是快速吸附，既可以吸附小分子物质，也可以吸附非生物降解的大分子有机物。随着过滤器吸附能力饱和运转时间的增长，大量的有机物积累在活性炭表面，活性炭的吸附容量逐渐减少，吸附速度也随之下降，以慢速吸附为主，与此同时生物活动开始，并逐步达到生物吸附平衡，大约耍运行5~20天的时间，活性炭表面才会出现明显的生物活性。
        在臭氧-生物活性炭法进行水处理的过程中，臭氧与生物活性炭两者的作用是互补的。臭氧与有机物的最主要反应是破坏碳化物的双键产生酮和醛，这些产物是管网系统内细菌的养料，如果在处理过程中没有去除这些养料，细菌就会在管网中迅速滋生。为了避免这种现象，可以采用适当的生物处理，如活性炭或慢滤池，利用滤料表面的细菌将这类化合物降解去除;也可以在处理厂出水前投加少量氧化剂，如ciz. cioz等，如果没有活性炭这种生物过滤器，就必须增加这类氧化剂的投加量。但绝大部分可溶有机物被活性炭上的生物去除后，则大大减少了这类氧化剂的投加量，这也同时降低了新的气味和色度的污染问题。可根据检测管网的细菌量来不断调整臭氧的投加量，使加氯量降低50%。