活性炭对电子工业制造过程中有害气体的去除：电子产业一直被视为清洁生产的典范，但实际情况并非如此。该行业使用的化学物质虽数量少；但品种繁多(60多种)，其中许多都是易挥发物，其本身或次生的二次气体中化学毒性强的物质不少，如:氢化砷、氯、氧化亚氨、六氟化钨、磷化氢」氟化氢、二氧化氮、硒化氢、硅烷、漠化氢、乙硼烷、乙硅烷；四氯化硅、三氟化氦、三氯化硼、错烷、氨等，随着对环保及健康间题关注程度的增强，主要发达国家已相继立法，对电子产业废气实行限期洽理。
    干式排气处理方式被认为对电子行业是最安全可靠的处理技术，常采用成型颗粒或破碎装颗粒活性炭品种，且总表面积应尽可能大。