臭氧-生物活性炭的第一次联合使用是1961年在德国Dusseldorf市及Amataad水厂中开始的，它的成功引起了德国以及西欧水处理工程界的重视。从70年代初开始，进行了臭氧-生物活性炭水处理工艺的大规模研究和应用，其中较重要的是原西德Bremen市的Auf dem werde的半生产性和   Mulheun市DohM水厂的中试及生产性规換的应用。德国的成功经脸逐步在邻国传播和发展起来，并得到不断完善。自从德国杜尔塞多水厂首先使用活性炭至今已有近30年的历史，20世纪70年代后期，德国已普遍推广采用。目前活性炭在灵国、日本、荷兰、璣士等发达国家已成为给水净化处理技术的主要工艺，1976年，美国国家环保局（EPA)规定，人口 15万以上的城市的供水必须用活性炭工艺，其中有代表性的是瑞士的Lengg水厂和法国鲁昂拉夏飘勒(Rouen La Chapella)水厂。
     进入20世纪90年代中后期，活性炭深度处理工艺在国内供水企业中也开始起歩，其中以北京田村山水厂、九江炼油厂生活水厂为代表。法国鲁昂拉夏佩勒水厂水处理工艺流程，北京田村山水厂水处理工艺流程等。